SuperView W3
El perfilómetro óptico de superficies 3D SuperView W3 es un instrumento ideal para la medición subnanómetro de diversas piezas de precisión. Basado en el principio de la tecnología de interferencia de luz blanca, combinado con un módulo de escaneo de precisión en dirección Z y un algoritmo de modelado 3D, escanea sin contacto la superficie del objeto y genera una imagen 3D de la misma.
Tras el procesamiento y análisis de la imagen 3D por parte del software XtremeVision, se obtiene una serie de parámetros 2D y 3D que reflejan la calidad de la superficie del objeto. El SuperView W3 es un instrumento óptico de precisión fácil de usar con potentes funciones de análisis para todo tipo de parámetros de forma y rugosidad de superficies. Gracias a su exclusiva fuente de luz, puede medir diversas piezas de precisión con superficies lisas y rugosas.
- Campo de visión estándar: 0,98 x 0,98 mm
- Repetibilidad de rugosidad RMS: 0,005 nm
- Rango de escaneo: 10 mm
- Resolución: 0,1 nm
- Precisión de la medición del escenario: 0,3 %
- Repetibilidad de la medición de la etapa: 0,08% 1σ
Funciones dedicadas para el campo de semiconductores
- Medir las zanjas de perfil después del ranurado láser en el proceso de corte.
- Mida la altura del paso de la película de la oblea en un rango de 1 nm a 1 mm.
- Mida la rugosidad de la lámina cortada de silicio después del proceso de pulido y puede medir
- docenas de áreas pequeñas para obtener el valor promedio con un clic.
- Admite medición de obleas de 6", 8" y 12" y cambia fácilmente entre 3 tamaños de
- Mandriles de vacío con un solo clic automáticamente.
Aplicaciones
Se utiliza para la
medición y análisis de la rugosidad de la superficie y el perfil de componentes de precisión de industrias de semiconductores, electrónica 3C, mecanizado ultrapreciso, mecanizado óptico, materiales micro-nano y sistemas microelectromecánicos.
Medición y análisis de la forma de la superficie y características del perfil de diversos productos, componentes y materiales, tales como planitud, rugosidad, ondulación, apariencia, defectos de la superficie, abrasión, corrosión, espacios, agujeros, etapas, curvatura, deformación, etc.
3C Electronics - Cristal de zafiro
| Características | . | .. | ... |
|---|---|---|---|
| Modelo N° | SuperView W3 | ||
| Tamaño | 1000*900*1550 mm | ||
| Peso | 500 kilos | ||
| Fuente de luz | LED blanco | ||
| Sistema de vídeo | 1024×1024 | ||
| Lente objetivo | 10x (2,5x, 5x, 20x, 50x, 100x opcional) | ||
| Zoom óptico | 0,5x (0,75x, 1x, 0,375x opcional) | ||
| Campo de visión estándar | 0,98 × 0,98 mm | ||
| Torreta de lentes | Torreta motorizada de 5 agujeros | ||
| Tabla de objetos XY | Tamaño 450×450 mm | ||
| Rango de viaje 300×300 mm | |||
| Capacidad de carga 10 kilos | |||
| Método de control - Motorizado | |||
| Inclinación | ±5° motorizado | ||
| Eje Z | Rango de viaje 100 mm | ||
| Método de control - Motorizado | |||
| Rango de escaneo Z-Stoke | 10 mm | ||
| Resolución Z | 0,1 nm | ||
| Rugosidad RMS Repetibilidad | 0,005 nm | ||
| Medición de la altura del escenario | Precisión 0,3% | ||
| Repetibilidad 0,08% 1σ | |||
| Requisito ambiental | |||
| 1 | Entorno operativo: Sin campo magnético fuerte | 4 | Vibración ambiental: VC-C o mejor |
| 2 | Temperatura de trabajo: 0 °C ~ 30 °C fluctuación <2 ℃/60 min | 5 | Aire comprimido: 0,6 Mpa sin aceite, sin agua |
| 3 | Humedad relativa: 5%~95% HR, sin condensación | 6 | Potencia: 300W |
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