CLEAN ROOM STYLUS PROFILERS
Stylus Nano Profiler NS200
El Stylus Nano Profiler NS200 es un instrumento de medición por contacto de ultraprecisión para medir la rugosidad superficial y el perfil microscópico, como la altura de paso micro-nano y el espesor de película. El NS200 utiliza un sensor de desplazamiento con resolución subangstrom, adquisición de señal de ruido ultrabajo, control de movimiento ultrafino y tecnología de algoritmos de calibración con un rendimiento excelente.
Su fuerza de contacto es extremadamente baja y no requiere requisitos especiales para medir las características de reflexión de la superficie, los tipos de material ni su dureza. Por lo tanto, se utiliza ampliamente para medir superficies microscópicas en las industrias de semiconductores y semiconductores compuestos, LED de alto brillo, energía solar, sistemas microelectromecánicos MEMS, pantallas táctiles, automoción y equipos médicos.
Aplicaciones
Semiconductor
● Altura del escalón de la película depositada
● Altura del escalón de la película fina resistente
● Medición de la velocidad de grabado
●Pulido químico-mecánico (corrosión, picaduras, flexión)
Sustrato grande
● Protuberancia de PCB, altura del escalón
● Recubrimiento de ventanas
● Máscara de oblea
● Recubrimiento del mandril de oblea
● placa de pulido
Sustrato de vidrio y pantalla
● AMOLED
● Medición de la altura del escalón durante el desarrollo de la pantalla LCD
● Medición del espesor de la película del panel táctil Mediciones de película delgada de recubrimiento solar
Película sobre componente flexible
● Fotodetector orgánico
● Películas orgánicas impresas sobre película y vidrio Trazas de cobre en pantallas táctiles
| Características | |
|---|---|
| Modelo N° | NS200 |
| Observación de muestra | Navegación de vista frontal NS200 - Cámara color de 5 MP Campo de visión: 2,2 x 1,7 mm |
| Navegación de vista frontal NS200-D - Cámara colorida de 5 MP Campo de visión: 10 x 13,4 mm | |
| Navegación de vista lateral NS200-D - Cámara colorida de 5 MP Campo de visión: 2 x 2,68 mm | |
| Sensor | Sensor LVDC de inercia ultrabaja |
| Medición de la fuerza | 1-50 mg ajustable |
| Aguja | Radio de la punta 2μm, ángulo 60° |
| Gama de viajes XY | Nivelación motorizada X/Y (150 mm × 150 mm), ajustable manualmente |
| Etapa de muestra R-θ | Motorizado, 0~360°, rotación continua |
| Mandril de vacío | Mandril de vacío de 6 pulgadas |
| Longitud de escaneo único | 55 mm |
| Alcance máximo de escaneo | 150 (recorrido XY) + rango de escaneo de 55 mm, el rango máximo es de 8 pulgadas |
| Altura máxima de la muestra | 50 mm |
| Tamaño máximo de oblea | 200 mm (8”) |
| Repetibilidad de la altura del paso* | 5 Å @ rango 330 μm/ 10 Å @ rango 1 mm (medir la altura del paso 1 μm, 1 δ) |
| Rango del sensor*2 | 330 μm o 1050 μm |
| Velocidad de escaneo | 2 μm/s ~ 10 mm/s |
| Puntos de muestreo de escaneo máximo | 12000 |
| Tamaño (largo x ancho x alto) | NS200 - 640×610×500 mm |
| NS200-D - 640x650x530mm | |
| Peso | 40 kilos |
| Aporte | CA 100~240 V, 50/60 Hz, 200 W |
| Entorno de trabajo | Humedad: 30~40 % HR (sin condensación), Temperatura: 16~25 °C (fluctuación < 2 °C/h), Vibración del suelo: 6,35 μm/s (1~100 Hz), Ruido de audio: ≤80 dB, Flujo laminar de aire: ≤0,508 m/s (flujo descendente) |