SuperView W1
El SuperView W1 Nano 3D Optical Surface Profilometer de Chotest Technology Inc. es un sistema avanzado de medición óptica diseñado para el análisis tridimensional de superficies con resolución nanométrica. Utiliza tecnología de interferometría y medición sin contacto para capturar con gran precisión la topografía, rugosidad y microgeometría de materiales y componentes.
Gracias a su alta velocidad de adquisición y su potente software de análisis 3D, el SuperView W1 permite obtener mapas detallados de superficie y parámetros metrológicos con gran fiabilidad. Es una solución ideal para aplicaciones en microelectrónica, semiconductores, óptica, materiales avanzados y control de calidad en procesos de fabricación de alta precisión.
- Campo de visión estándar: (0,98*0,98) mm
- Rango de escaneo: ≤10 mm
- Resolución: 0,1 nm
- Precisión de la medición del escenario: 0,3 %
- Repetibilidad de la medición de la etapa: 0,08% 1σ
Aplicaciones
El perfilómetro óptico de superficies
3D SuperView W1
es un instrumento
ideal para la medición subnanómetro de diversas piezas de precisión.
Basado en el principio de la tecnología de interferencia de luz blanca, combinado con un módulo de escaneo de precisión en dirección Z y un algoritmo de modelado 3D, escanea sin contacto la superficie del objeto y genera una imagen 3D de la misma. Tras el procesamiento y análisis de la imagen 3D por parte del software XtremeVision, se obtiene una serie de parámetros 2D y 3D que reflejan la calidad de la superficie del objeto. El
SuperView W1 es un instrumento óptico de precisión fácil de usar con potentes funciones de análisis para todo tipo de parámetros de forma y rugosidad de superficies. Gracias a su exclusiva fuente de luz, puede medir diversas piezas de precisión con superficies lisas y rugosas.
Medición y análisis de la forma de la superficie y características del perfil de diversos productos, componentes y materiales, tales como planitud, rugosidad, ondulación, apariencia, defectos de la superficie, abrasión, corrosión, espacios, agujeros, etapas, curvatura, deformación, etc.
3C Electronics - Cristal de zafiro
| Características | |
|---|---|
| Modelo N° | SuperView W1 |
| Fuente de luz | LED blanco |
| Sistema de vídeo | 1024×1024 |
| Lente objetivo | Estándar: 10X (opcional: 2,5X, 5X, 20X, 50X, 100X) |
| Zoom óptico | Estándar: 0,5X Opcional: 0,375X, 0,75X, 1X |
| Campo de visión estándar | 0,98 × 0,98 mm |
| Torreta de lentes | Estándar: Torreta manual de 3 agujeros (Opcional: Torreta motorizada de 5 agujeros) |
| Tabla de objetos XY | Tamaño 320×200 mm |
| Rango móvil 140×100 mm | |
| Capacidad de carga 10 kilos | |
| Método de control - Motorizado | |
| Inclinación (manual) | ±4° |
| Enfoque del eje Z | Rango de viaje 100 mm |
| Método de control - Motorizado | |
| Rango de escaneo de trazo Z | 10 mm |
| Repetibilidad de la forma de la superficie* | 0,1 nm |
| Rugosidad RMS Repetibilidad* | 0,005 nm |
| Medición de la altura del escalón* | Precisión: 0,3%; Repetibilidad: 0,08%(1σ) |
| Velocidad de escaneo a una resolución de 0,1 nm | 1,85 μm/s |
| Peso | 140 kg |
| Tamaño (largo x ancho x alto) | 700x606x920mm |
| Medición de la etapa | Temperatura 0 °C ~ 30 °C, fluctuación <2 °C/60 min |
| Humedad 5%~95% HR, sin condensación | |
| Vibración VC-C o mejor | |
| Evaluación de ruido del software * 3σ≤4 nm | |
| Aire comprimido 0,6 Mpa sin aceite, sin agua, diámetro de manguera de 6 mm | |
| Fuente de alimentación CA 100~240 V, 50/60 Hz, 4 A, 300 W | |
| Otro - Sin campo magnético fuerte, sin gas corrosivo |
Nota:
*
1 Utilice el modo EPSl para medir la oblea de silicio Sa de 0,2 nm en el entorno de laboratorio; Filtro de 80 um de una sola raya para un campo de visión completo
* 2 Mida la oblea de silicio Sa de 0,2 nm en un entorno de laboratorio de acuerdo con la norma ISO 25178.
* 3 Mida el bloque de altura de pasos estándar de 5 μm en un entorno de laboratorio de acuerdo con la norma ISO 1060-1:2000
* 4 Cuando la evaluación del ruido del software es de 4 nm ≤ 3 σ ≤ 10 nm, la repetibilidad RMS de rugosidad se revisa a 0,015 nm, la precisión de la medición de la altura del paso se revisa a 0,7 % y la repetibilidad de la medición de la altura del paso se revisa a 0,12 %; Cuando la evaluación del ruido del software es de 3 σ> 10 nm, el entorno no cumple con el requisito de uso del equipo y es necesario cambiar el sitio.
| Parámetros | |
|---|---|
| Estándar | |
| ISO 4287-1997 | |
| A>amplitud | Sección principal - Pp, Pv, Pz, PC, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku |
| Aspereza - Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku | |
| W>aviness - Wp, Wv, Wz, Wc, Peso, Wa, Wq, Wsk, Wku | |
| intervalo | Sección principal - PSm, Pdq |
| Aspereza - RSm, Rdq | |
| W>aviness - WSm,Wdq | |
| S>sustancia | Sección principal - Pmr, Pdc |
| Aspereza - Rmr, Rdc, Rmr(Rz/4) | |
| W<aviness - Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
| Cima | Sección principal - PPc |
| Aspereza - RPc | |
| W<aviness - WPC | |
| ISO 13565 | ISO 13565-2 Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rpk, Rvk |
| ISO 12085 | Gráfico de rugosidad - R, AR, R×, No |
| Gráfico de W>aviness> - W,AW,W×,Wte | |
| Otro gráfico - Rke, Rpke, Rvke | |
| AMS >B46.1 | 2D - Rt, Rp, Rv, Rz, Rpm, Rma×, Ra, Rq, Rsk, Rku, tp, Htp, Pc, Rda, Rdq, RSm, Peso |
| DIN EN ISO 4287-2010 | Perfil original - Pa, Pq, Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, PSk, PKu, PSm, PPc, Pdq, Pdc, Pmr, |
| Aspereza - Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |
| W>aviness - Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |
| Norma JIS B0601-2013 | Perfil original - Pa, Pq, Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, PSk, PKu, PSm, PPc, Pdq, Pdc, Pmr, |
| Aspereza - Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |
| W>aviness - Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |
| GBT 3505-2009 | Perfil original - Pa, Pq, Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, PSk, PKu, PSm, PPc, Pdq, Pdc, Pmr, |
| Aspereza - Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |
| W>aviness - Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr |
| Parámetros 3D | |
|---|---|
| Estándar | |
| ISO 25178 | Altura - Cuadrado, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| Función - Smr,Smc,S×p | |
| Espacio - Sal, Calle, Estándar | |
| Parámetros compuestos - Sdq,Sdr | |
| Volumen - Vm, Vv, Vmp, Vmc, Vvc, Vvv | |
| Forma - Spd, Spc, S10z, S5p, S5v, Sda, Sha, Sdv, Shv | |
| Funcional - Sk, Spk, Svk, Smr1, Smr2, Spq, Svq, Smq | |
| ISO 12781 | Llanura - FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
| EUR 15178N | Amplitud - Sa, Cuadrado, Talla, Ssk, Sku, Esp, Sv, St |
| Espacio - Str,Std,Sal | |
| Parámetros compuestos - Sdq, Sds, Ssc, Sdr, Sfd | |
| Área, Volumen - Smr,Sdc | |
| Función - Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Spq, Svq, Smq | |
| Funcional - Sbi, Sci, Svi | |
| EUR 16145 Y | Amplitud - SaSq, Sy, Sz, Ssk, Sku |
| Parámetros mixtos - Ssc,Sdq | |
| Funcional - Sbi, Ciencia | |
| Espacio - Sdsrw | |
| Dureza - Hs,Hvol | |
| ASME B46.1 | 3D - St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
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